X射線熒光光譜儀是一種基于X射線激發(fā)原理的非破壞性分析儀器，通過測(cè)量物質(zhì)受激發(fā)后產(chǎn)生的特征X射線熒光，實(shí)現(xiàn)元素定性與定量分析。其核心原理為：高能X射線或伽馬射線轟擊樣品時(shí)，樣品中原子內(nèi)層電子被擊出，形成空穴，外層電子躍遷填補(bǔ)空穴時(shí)釋放特征X射線。不同元素的特征X射線具有特定能量或波長，探測(cè)器捕獲這些信號(hào)后，儀器軟件將其轉(zhuǎn)化為元素種類及含量信息。

　　X射線熒光光譜儀其主要技術(shù)特點(diǎn)如下：

　　1、分析速度快，效率高

　　XRF分析過程非常迅速，通常在10秒到幾分鐘內(nèi)即可完成對(duì)樣品中多種元素的同時(shí)測(cè)定。

　　無需復(fù)雜的樣品前處理，尤其對(duì)于固體樣品，可直接進(jìn)行測(cè)量，極大地提高了檢測(cè)效率。

　　2、非破壞性分析

　　這是XRFz突出的優(yōu)點(diǎn)之一。檢測(cè)過程中，樣品不會(huì)被化學(xué)溶解或物理破壞，其化學(xué)狀態(tài)和物理形態(tài)基本保持不變。

　　同一樣品可以進(jìn)行多次重復(fù)測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好，特別適用于珍貴樣品、文物、藝術(shù)品的檢測(cè)。

　　3、分析范圍廣，多元素同時(shí)檢測(cè)

　　可同時(shí)分析從鈉（Na）到鈾（U）的多種元素（部分儀器可測(cè)更輕元素）。

　　一次測(cè)量即可獲得樣品中多種元素的定性（元素種類）和定量（元素含量）信息，適用于復(fù)雜基體的分析。

　　4、樣品適應(yīng)性強(qiáng)，制樣簡單

　　可分析固體、粉末、液體、薄膜等多種形態(tài)的樣品。

　　對(duì)于固體樣品，通常只需表面平整即可；粉末樣品可壓片或熔融成玻璃片；液體樣品可直接倒入樣品杯測(cè)量。

　　這種簡單的制樣過程降低了操作難度和分析成本。

　　5、分析精度高，穩(wěn)定性好

　　現(xiàn)代XRF儀器采用高穩(wěn)定性的X射線管和高性能探測(cè)器，分析精密度高，含量測(cè)定可達(dá)到ppm（百萬分之一）級(jí)別。

　　儀器運(yùn)行穩(wěn)定，長期使用性能可靠。

　　6、物理分析方法，受化學(xué)狀態(tài)影響小

　　XRF是一種物理分析方法，其分析結(jié)果主要與元素的原子序數(shù)和含量有關(guān)，而與元素的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)（如化合價(jià)、分子結(jié)構(gòu)）關(guān)系不大。

　　這使得它在分析同一族元素或復(fù)雜化合物時(shí)具有優(yōu)勢(shì)。