X射線熒光光譜儀是一種基于X射線激發原理的非破壞性分析儀器，通過測量物質受激發后產生的特征X射線熒光，實現元素成分的定性與定量分析。其核心原理是利用高能X射線或伽馬射線轟擊樣品，使樣品中的原子內層電子被擊出，形成電子空穴。外層電子躍遷填補空穴時，釋放出具有特定能量（或波長）的特征X射線，探測器捕獲這些熒光信號后，通過軟件系統轉換為元素種類及含量信息。

　　X射線熒光光譜儀的日常保養：

　　1、清潔樣品室（樣品腔）

　　每次測試后：使用潔凈、干燥、無絨的軟布或專用吹氣球清除樣品室內的粉塵、樣品碎屑或殘留物。

　　避免使用液體清潔劑：嚴禁將水或有機溶劑直接噴灑或擦拭樣品室，以免損壞探測器窗口、光路系統或電路板。

　　特殊污染處理：若樣品為液體或易揮發物質，應立即清理，防止腐蝕或污染內部組件。

　　2、清潔樣品托盤和樣品杯/膜

　　取出樣品后，及時清理托盤上的殘留物。

　　對于壓片樣品，清除粉末；對于液體樣品，用無水乙醇擦拭干凈并晾干。

　　定期檢查樣品杯底部的**聚酯薄膜（Mylar膜）**是否破損、起皺或污染，及時更換。

　　3、檢查X射線管窗口

　　觀察X射線出口窗口（通常為Be窗）是否清潔、無劃痕或污染。若有灰塵，用吹氣球輕輕吹凈。

　　切勿用手或硬物觸碰，Be窗極薄且有毒，破損會導致X射線泄漏和儀器故障。

　　4、檢查探測器狀態

　　對于Si(Li)或SDD探測器，確保制冷系統（如Peltier制冷或液氮）工作正常。

　　檢查制冷溫度是否達到設定值（如-35°C以下），避免探測器“升溫”導致性能下降。

　　5、運行儀器自檢程序

　　開機后或關機前，運行儀器自帶的真空檢測（如有）、X射線管預熱、穩定性測試或標準樣校驗程序，確保系統狀態正常。