一、X射線熒光光譜儀的組成

1、X射線發射系統：主要部件是X射線管，在高壓和電流作用下，產生出*強度X射線，用于激發樣品。

2、冷卻系統：用于冷卻產生大量熱的X射線管，X射線的發生效率為0.2%。X射線管消耗的電能幾乎全部轉化為熱量，因此，在X射線管工作時，必須保證冷卻系統運轉正常。

3、樣品傳輸系統：將放置在樣品盤中的樣品傳輸到測定位置。分光檢測系統：把樣品產生的X射線熒光用分光元件和檢測器進行分光、檢測。

4、計數系統：統計、測量檢測器檢測出的信號，同時也可以除去過強的信號和干擾線。

5、真空系統：將樣品傳輸系統和分析檢測系統抽成真空，使檢測在真空中進行，避免強度的吸收損失控制和數據

6、處理系統：對各部分進行控制，并處理統計測量的數據，進行定性、定量分析，打印結果。

三、XRF分析的特點

    X射線熒光光譜在元素的定性和定量分析中得到廣泛應用，它的突出特點是：

（1）譜線簡單，多元素間干擾比發射光譜小，除少數輕元素外，它基本不受化學鍵和元素在化合物中狀態影響；

（2）分析靈敏度高，大多數元素檢出限達到10-5-10-8g/g;分析元素的范圍寬，從硼到鈾（5-92）元素都可以分析，常用的元素分析范圍是氟到鈾（9-92）

（3）定量分析響應范圍寬，從常量到微量mg/kg

（4）分析方法的精密度高，誤差一般在5%以內；

（5）制樣簡單，固體、粉末和液體樣品都可測定，樣品在分析中不受破壞，屬于無損分析法；

（6）多元素同時分析，分析自動化程度高，分析速度快，幾分鐘內可同時給出一個樣品種所含的幾十種元素的定性、定量分析；

（7）儀器分析計算機操作，計算機計算輸出元素百分含量結果。