單通道X射線熒光光譜儀。X射線熒光光譜儀的分光晶體為平面晶體。這類儀器一般由四部分組成：X射線發生、X射線分光、檢測和記錄系統以及操作和控制系統。各系統均由計算機控制和操作。

 

1、X射線發生系統是由X射線管及其控制部分、高壓油箱、高壓電纜和X射線管冷卻單元等組成。這些組成部分保證了激發源(X射線管)發射出穩定的、有一定強度的一次X射線。

 

2、X射線分光系統是由X射線分光晶體、樣品室、真空抽氣系統和氣路系統組成。X射線光譜儀包括SC閃爍計數器、*狹縫、分光晶體、晶體轉換器、第二狹縫和FPC流氣正比計數器等。真空抽氣系統包括真空泵、真空管道和真空探頭。氣路系統包括氬和甲烷氣瓶、減壓閥、流量計和自動氣體調壓器等。

 

3、檢測和記錄系統是由放大器印刷電路板、PHA的印刷電路板、探測器高壓電源的印刷電路板、接口印刷電路板、防護板、插件板和電源等組成。

 

4、操作控制系統包括于操作系統的微處理機、定標器/定時器、記錄儀接口以及光譜儀各個接口。經脈沖高度選擇器分離出來的分析線脈沖高度分布，由計數率計——記錄儀、定標器——定時器讀出和顯示。

 

5、計算機

 

   上述四個系統，由計算機控制和操作。在預先設定的測量條件下，主機(X射線熒光儀)進行自動測量。測量完畢，計算機進行數據處理，并打印出分析結果。

 

二、多通道X射線熒光光譜儀結構

 

    多通道X射線熒光光譜儀的固定通道所匹配的分光晶體為凹面晶體。這類譜儀的結構，基本上相當于一系列單通道譜儀的組合，每一個通道都有自己的晶體、準直器和探測器。這些通道環繞一個共用的X射線管(端窗型)和試樣，呈輻射狀排列。每一個探測器都有自己的放大器、波高選擇器、計數器和定標器。測量通道基本上是固定的，被設定在的分析線2θ角度上。有些譜儀也配有一、二個掃描通道。